镜片加工指标RMS的疑问

徐光斗 · 发表于 2024-8-5 09:54

在镜片加工的技术指标需求上看到了这个要求
RMS≤1/80λ@632.8nm
这个要求是以什么为依据提出的，zemax公差分析里并没有针对单个镜片RMS的分析，也没有相关操作数
这个指标一般能达到什么精度，会对系统性能有什么影响？
怎么来确定这个指标给多少合适？

天空很蓝 · 发表于 2024-8-5 09:57

PMS和PV有个大概的关系，大概是6-10倍。可以这样简单参考下，如果是球面的化，PV可以和局部光圈或者亚斯对应上，这样公差分析就可以分析了

金木研 · 发表于 2024-8-5 13:56

一般来说，球面透镜提局部光圈要求居多（也有少数人喜欢提RMS），非球面提RMS居多。局部光圈≈2*PV，PV≈8*RMS。

alva100 · 发表于 2024-8-5 18:02

我们显微成像领域，镜片加工都要求RMS≤8nm，这个是会影响成像质量的

jlt黄色闪光 · 发表于 2024-8-6 10:22

alva100 发表于 2024-8-5 18:02
我们显微成像领域，镜片加工都要求RMS≤8nm，这个是会影响成像质量的

请问对RMS有要求的时候，图纸标注的时候是直接写RMS≤8nm，还是写ΔN≤2

Studyxxxzzz · 发表于 2024-8-6 11:51

本帖最后由 Studyxxxzzz 于 2024-8-6 13:39 编辑

jlt黄色闪光发表于 2024-8-6 10:22
请问对RMS有要求的时候，图纸标注的时候是直接写RMS≤8nm，还是写ΔN≤2

按照常规的图纸应该标注ΔN 0.4，一道圈是1/2λ

alva100 · 发表于 2024-8-6 14:20

jlt黄色闪光发表于 2024-8-6 10:22
请问对RMS有要求的时候，图纸标注的时候是直接写RMS≤8nm，还是写ΔN≤2

我们标注的是ΔN 0.2 ，并且在技术要求里面要求干涉仪单面面型误差RMS优于8nm

jlt黄色闪光 · 发表于 2024-8-6 15:07

alva100 发表于 2024-8-6 14:20
我们标注的是ΔN 0.2 ，并且在技术要求里面要求干涉仪单面面型误差RMS优于8nm
...

明白了，ΔN 0.2感觉还是很严苛的，是物镜需要这么严苛吗？我之前做过一个筒镜，做完公差分析之后感觉ΔN 0.5也能满足要求

alva100 · 发表于 2024-8-6 15:23

jlt黄色闪光发表于 2024-8-6 15:07
明白了，ΔN 0.2感觉还是很严苛的，是物镜需要这么严苛吗？我之前做过一个筒镜，做完公差分析之后感觉ΔN ...

筒镜公差自然比物镜要松很多的，高NA物镜公差很严格的

jlt黄色闪光 · 发表于 2024-8-6 16:30

我最近也在做显微物镜设计，方便加微信交流下吗？我感觉自己有点摸不着头绪

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[光学基础知识&概念] 镜片加工指标RMS的疑问