[已解决]关于TEZI 不规则度公差解释

playboygu11 · 发表于 2024-3-11 14:24

跪求大佬解惑
1、第一个方框，在一般的公差分析中，zernike系数的一般填多少？
2、第二个方框，填写不规则度的RMS，如果测试波长是532nm，面型加工要求的是λ/20，数值是应该填写532/20=26.6nm吗？

最佳答案

dcw123

2024-9-28 11:40

第一项是表面，第二项max是最大泽尼克系数，比如37，第三项一般填2,。最小为面型RMS的负数值，单位为mm，比如RMS要求0.1波长，对于632nm的测试光，最小最大分别为-6.32e-5,6.32e-5

wxx2015 · 发表于 2024-3-19 20:14

TEXI使用泽尼克边缘矢高面模拟不规格度，以双通光圈形式表征近似波峰到波谷（PTV）误差。零到波峰是不规则度的一个粗略的测量。
TEZI使用泽尼克标准矢高面模拟标准面和偶次非球面的不规则度。属于精确的RMS误差。
TEZI值优先参考。

dcw123 · 发表于 2024-9-28 11:40

第一项是表面，第二项max是最大泽尼克系数，比如37，第三项一般填2,。最小为面型RMS的负数值，单位为mm，比如RMS要求0.1波长，对于632nm的测试光，最小最大分别为-6.32e-5,6.32e-5

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