关于光斑匀化的问题

currichard

照明系统中，若要求出来的光斑幅面又大，均匀性又好，我能想到的方法有：匀光片（实测效果很差），光棒（感觉做到90%以上就到性能极限了），复眼 （软件仿真能到97%，但实际貌似和光棒差不多效果，不知道怎么优化提升了），若想要达到99.5%以上的均匀性，有什么好的方法呢。

一苇不渡

可以看下电视背光是怎么做法

yjcao

99.5%以上的均匀性感觉是一个不可能完成的任务。可能你用同一个仪器去测同一个点十次，算出来的均匀性都达不到99.5%

gtgdfgdfgdfg

实际光学系统中采用光棒(95%)或者复眼的方案(98%+)是可以做到。不知道你这个是在哪个领域为什么要这么高的均匀性？多大的画幅？多远的距离？什么光源？光源多大尺寸？感觉做到99%的均匀性实际系统是可以的，99.5%就看你测量仪器的精度首先能不能达到

atang0

你的均匀性是怎么定义的？

currichard

gtgdfgdfgdfg 发表于 2023-8-22 15:24
实际光学系统中采用光棒(95%)或者复眼的方案(98%+)是可以做到。不知道你这个是在哪个领域为什么要这么高的 ...

光刻领域，复眼实测98%以上是用优化定制件做吗

currichard

atang0 发表于 2023-8-22 15:45
你的均匀性是怎么定义的？

就是常规的采点

gtgdfgdfgdfg

currichard 发表于 2023-8-22 16:14
光刻领域，复眼实测98%以上是用优化定制件做吗

均匀性除了照明，你还要结合镜头来做，还有中间的掩膜或者DMD也有影响。要达到这个均匀性要求，需要从整个系统去设计和考虑，把你们公司的大佬召唤出来吧。