光学投影曝光微纳加工技术

dcw123 · 发表于 2020-11-9 14:36

光学投影光刻的工作原理、系统组成、应用和发展前景，详细介绍投影光刻物镜、掩模硅片对准、激光定位工件台、分辨力增强技术以及整机集成。附件附PDF版，后期补全。

dcw123 · 发表于 2020-11-9 14:39

这个第一部分，其他部分压缩后上传

ZY110910 · 发表于 2020-11-9 17:10

dcw123 发表于 2020-11-9 14:39
这个第一部分，其他部分压缩后上传

麻烦上传一下该书的目录。谢谢。

光怪陆离smile · 发表于 2021-10-17 15:42

ZY110910 发表于 2020-11-9 17:10
麻烦上传一下该书的目录。谢谢。

这是《光学投影曝光微纳加工技术》目录.pdf
本贴的后续部分没有找到。。。

optdes · 发表于 2022-2-28 21:59

您好，该书的后半部分还有吗？

南山必胜客 · 发表于 2022-3-14 10:47

提示: 作者被禁止或删除内容自动屏蔽

8194 · 发表于 2022-3-14 11:11

这本书可惜了，没有后半部分，后半部分我看了目录还是比较感兴趣的

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