传统PCB曝光机中反光碗的设计理念

TTTTjunior

目前国内很多PCB以及液晶曝光设备都是国外的（日本最多）汞灯光路设备：汞灯+反光碗+反射镜+复眼+曲面镜组成复眼的接收角固定的情况
问题1：反光碗设计方向：
1、最大化复眼入射角？理论上这样应该最终台面的功率密度最高
2、还是在固定后端一个需求功率密度的情况下，做一个能满足功率的最小复眼入射角？这样应该均匀性最优
问题2：功率密度的分布总是偏向一边的，从光源部分如何解决

TTTTjunior

附上功率密度分布图片。

北方的狼ZZB

我不是很懂这个事情的具体需求。但是有两个问题想问一下：1、光源是什么，LED还是激光？2、目的是实现均匀光照度分布吗？ 如果是这样的话，感觉可以采用自由曲面反射镜直接做

TTTTjunior

北方的狼ZZB 发表于 2020-8-27 16:42
我不是很懂这个事情的具体需求。但是有两个问题想问一下：1、光源是什么，LED还是激光？2、目的是实现均匀 ...

目前进口的设备（包含已使用10年以上的）光源都是超高压汞灯，现在是有设备厂商想采用LED替代汞灯。
是实现高均匀性，但是根据测试曲面反射镜，汞灯的光路就是采用的球面镜，不是自由曲面，因为这个面型很大，基本上800*700尺寸以上，自由曲面成本很高吧。
现在关键点是，后端光路不变的情况下，LED光源均匀性没有汞灯优秀，从光源端有办法解决这个均匀性匹配问题吗？不采用自由曲面准直。

ggcgzlove

反光碗一般作用是用于聚光，设计目标为在满足系统要求的情况下尽可能的汇聚最大能量，后续加入复眼透镜阵列用于匀光，后边的曲面用于准直或其他用途。

天空很蓝

楼主的问题，反反复复看了几遍，感觉不是很清晰，首先没有完整的光路图，感觉是LED光源，先经过这个反射碗进行准直吧，准直后，光束的光功率分布不均匀？