有关光刻照明的基础知识请教

小贝123 · 发表于 2020-3-7 13:06

本人照明小白，神坛的大佬们可否推荐相关书籍或资料，谢谢

1504 · 发表于 2020-3-7 13:21

在校研究生吗

五指书生 · 发表于 2020-3-8 11:02

这个要看你是什么波段的照明了？365nm，193nm还是极紫外13nm，我倒是建议你初级调研阶段直接知网硕博士论文看看，然后有一定了解了，看看国外的文献。

小贝123 · 发表于 2020-3-8 18:14

350426422 发表于 2020-3-7 13:21
在校研究生吗

不是，刚踏入这一行，实属小白，希望可以有基础的案例尽可能详细点的或者视频推荐，感激不尽。

小贝123 · 发表于 2020-3-8 18:20

五指书生发表于 2020-3-8 11:02
这个要看你是什么波段的照明了？365nm，193nm还是极紫外13nm，我倒是建议你初级调研阶段直接知网硕博士论文 ...

谢谢，主要想做405nm波段的，复眼匀光照明，资料也在找但想找一些尽可能详细的视频或者资料，谢谢，大佬指点

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