关于曝光机的原理

波波爱吃大米饭

https://wenku.baidu.com/view/11a703c026d3240c844769eae009581b6ad9bd29.html最近公司打算做一个曝光机的项目，目前正在了解学习阶段，现在了解到基本的工作流程是曝光机的工作主机通过算法将CAM的文件转换成RIP的光栅图像文件，传给相关的板卡，板卡将图像文件传给DMD（数字微反射镜），大量的小反射镜通过开关通过镜通将图像信息显示出来。想了解相关资料的可以私信我。当然，公司目前在招板卡和有相关项目经验的大佬。

五指书生

你们这个曝光机要做到多少分辨率呢？针对工业芯片生产还是实验室实验？

yang725826

以前做过LDI(激光直写曝光机)，分两个方向，PCB和半导体，都是用DMD投图，然后成像。PCB的话，最小可以做到30微米线宽，半导体的话，最小可以做到0.8微米左右线宽。主要做光学调试和投影镜头设计，干了3年，学到不少东西。个人感觉做光学一定要懂工艺，不然后道工艺做出来的线不好，就会说是光路调试问题，这种互相推脱的问题，要是不懂工艺，会被玩死。

波波爱吃大米饭

五指书生 发表于 2020-1-12 18:00
你们这个曝光机要做到多少分辨率呢？针对工业芯片生产还是实验室实验？

公司是业界一家PCB板公司，曝光机主要应用于pcb的生产工艺中，目前公司的精度要求是25-30um。

波波爱吃大米饭

yang725826 发表于 2020-1-14 10:16
以前做过LDI(激光直写曝光机)，分两个方向，PCB和半导体，都是用DMD投图，然后成像。PCB的话，最小可以做到 ...

我们公司是做pcb板的，部门刚刚成立，这块硬骨头很难啃。想请教前辈几个问题：1.做曝光机需要有哪些必要的知识储备，在过程中用的到。
2.您说的工艺是指供曝光机的生产工艺吗？
3.有没有来我们公司的兴趣

yang725826

波波爱吃大米饭 发表于 2020-1-14 23:09
我们公司是做pcb板的，部门刚刚成立，这块硬骨头很难啃。想请教前辈几个问题：1.做曝光机需要有哪些必要 ...

1、做曝光机还是很烧钱的，光机电软都需要对应的专业人才。国内的曝光机技术都是从天津芯硕那边流出来，基本大同小异。光学这一部分主要就是科勒照明设计和双远心投影镜头设计，还有光路调试。
2、工艺是指后续机台的调试工艺，或者理解是机台验证。
3、一般中小型PCB板厂是养不起曝光机研发生产的，你们什么公司？25~30微米的精度也不算低。不像70微米的线，随便搞搞也能成功。

fishboy

无掩模光刻自从合肥芯硕解散后，开枝散叶好多家，都大同小异。

lxg990149

做曝光机要求很高的，PCB行业稍微低一点，国内就是缺少做半导体精密设备的，做起来之后就不错了