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高分辨率宽光谱范围微型光谱仪光学设计与分析(帖子标题)
来源:激光与光电子学进展,发表时间:2019-12-17 15:44
钟卉
北京空间机电研究所先进光学遥感技术北京市重点实验室
摘要:针对微型光谱仪难于兼顾光谱分辨率和光谱范围的问题,提出一种级联微型法布里-珀罗干涉仪和微型曲面光栅光谱仪的设计方法,分析给出了两种光谱仪匹配设计的条件,对级联光学系统的光谱特性进行了阐述,提出并实现了光谱数据重构算法。用ZEMAX软件设计了一款用于1064nm激光激发拉曼光谱采集的微型光谱仪,光谱仪光学系统尺寸为25×6×6mm,数值孔径为0.22,拉曼光谱范围为150-3200cm-1,光谱分辨率约为6cm-1,仅需使用长度为2.4mm的线阵探测器。通过计算机仿真了全光学系统对一条标准拉曼光谱的光谱扫描及离散的线阵探测器对光谱信号的采样,对光谱数据进行重构,重构的拉曼光谱的光谱分辨率约为6.4cm-1,与标准图谱的拉曼位移偏差≤1cm-1,与设计值接近,验证了设计方法和重构算法的可行性。该光谱仪能同时实现宽的光谱范围和较高的光谱分辨率,且可以基于微机电工艺实现微型化和低成本化,能满足手持式、便携式光谱检测和工业在线光谱检测的应用需求,具有较高的实际应用价值。
关键词:拉曼光谱仪;法布里-珀罗干涉仪;曲面光栅;微型光谱仪;
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