[已解决]关于二元面中extra data的设置问题

794706227

对于二元面的设置，一般选择类型binary 2。LDE中的变量描述的是二元面的基面情况（球面、非球面等），但是在extra data 中的norm radius就始终不太理解是个什么意思？怎么赋值？数值范围对于加工难度的影响是什么？还请知道的朋友指点下，谢谢！

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大鹏展翅11

2017-11-28 10:29

norm radius就是该面上使用二元面的最大半径（即该面可能不是整面都是二元面），难度可在extension里的phaseplot查看。PhasePlot：Creates a graph showing the phase and the inverse of the phase slope for Binary 2 surfaces. The plot indicates the phase over the semi-diameter of the surface.

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大鹏展翅11

norm radius就是该面上使用二元面的最大半径（即该面可能不是整面都是二元面），难度可在extension里的phaseplot查看。PhasePlot：Creates a graph showing the phase and the inverse of the phase slope for Binary 2 surfaces. The plot indicates the phase over the semi-diameter of the surface.

wsjch

大鹏展翅11 发表于 2017-11-28 10:29
norm radius就是该面上使用二元面的最大半径（即该面可能不是整面都是二元面），难度可在extension里的phas ...

宏读取的二元面数据，如何确定这个二元面是否有用，实际是否可以加工，目前大概的判别标准是？

794706227

大鹏展翅11 发表于 2017-11-28 10:29
norm radius就是该面上使用二元面的最大半径（即该面可能不是整面都是二元面），难度可在extension里的phas ...

感谢您的回复。那是不是说，可以在extra data里边把norm radius 设置成跟随当前衍射面的半口径？如图1所示。
之前看到东坡的一个帖子，关于加工是这样说的，“需要问加工厂家的工艺水平吧，长波红外目前环带间距1mm以上是可以的”。打开macro之后，phase的图像如图2所示，1mm刻0.7个周期，是不是可以加工呢?1mm刻的周期数越多加工难度越大对不对？

大鹏展翅11

wsjch 发表于 2017-11-28 11:11
宏读取的二元面数据，如何确定这个二元面是否有用，实际是否可以加工，目前大概的判别标准是？

主要看最小水平线宽：平面上可达0.5um，曲面数值会更大

大鹏展翅11

794706227 发表于 2017-11-28 11:53
感谢您的回复。那是不是说，可以在extra data里边把norm radius 设置成跟随当前衍射面的半口径？如图1所 ...

可以，理解的对

794706227

大鹏展翅11 发表于 2017-11-28 15:39
主要看最小水平线宽：平面上可达0.5um，曲面数值会更大

请问下，您说的是这个1.3924这个值吗？“the minimum radial change was 1.3924 which occured after radius of 15.83”?这里的值跟phaseplot里的数据怎么对应起来呢？

大鹏展翅11

794706227 发表于 2017-11-28 20:18
请问下，您说的是这个1.3924这个值吗？“the minimum radial change was 1.3924 which occured after rad ...

最小水平线宽等于the minimum radial change除以台阶数

794706227

大鹏展翅11 发表于 2017-11-29 10:03
最小水平线宽等于the minimum radial change除以台阶数

哦，好的，非常感谢您。不知道您了解这些都是从什么资料上看到的，能不能推荐下看看？

wsjch

794706227 发表于 2017-11-29 10:30
哦，好的，非常感谢您。不知道您了解这些都是从什么资料上看到的，能不能推荐下看看？

phaseplot这个宏可以发上来吗？zemax自带的不带画图功能