求助，分光棱镜出现多余光斑问题

rtt · 发表于 2025-4-22 10:05

我们在搭建无掩模光刻系统的时候遇到如下问题，当使用分光片进行分光时，由于前后两个面的反射，在相机里会看到重影，于是我们替换成了分光棱镜，虽然重影消失了但是在相机里出现了很大的光斑，经过分析，我们认为是面1反射造成的，请问这个有什么办法解决吗，或者有什么元件可以替换。十分感谢

匍匐前进 · 发表于 2025-4-22 10:15

我也遇到过，没解决。分光棱镜那个面可以镀增透膜吗？之前有这个想法，后边因为其它原因没做

sfy · 发表于 2025-4-22 10:25

面1不用的话，可以涂黑。但我觉得你这个背景杂光不只是面1的问题，你样品正对着的那个棱镜表面同样也会背向反射光，这个面才是最难搞的

9359 · 发表于 2025-4-22 10:28

用pbs+波片？

呼噜呼噜 · 发表于 2025-4-23 00:36

不是面1的反射，是经过半透半反面后，反射光在平行于相机的表面，再次反射

寒冰川 · 发表于 2025-4-23 14:32

感觉可以试试光胶工艺的分束镜，想问一下您这个图是用什么软件画的呢

rtt · 发表于 2025-4-23 16:10

寒冰川发表于 2025-4-23 14:32
感觉可以试试光胶工艺的分束镜，想问一下您这个图是用什么软件画的呢

用ppt简单画的

		自动登录	找回密码
密码			注册