TA的每日心情 | 开心 2025-3-31 14:44 |
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小白
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以下是參考chatGPT,個人認為分析的還不錯
除了加工可行性評估,後續的檢驗&公差需求也是需要考量的
1. 表面形貌分析
Zernike 多項式的最高階數影響
第一面(7 項)應該較為平滑,加工難度相對較低。
第二面(28 項)具有更高頻的形變,可能需要更高精度的加工設備。
透過 Zernike 項目影響分析
低階項(例如球差、彗差)通常可透過傳統光學拋光方式加工。
高階項(特別是28項)可能代表更細微的局部形變,對於加工設備的要求較高,甚至可能影響測試與校准。
2. 加工方法評估
傳統光學拋光(磨削 + 抛光)適合較低階的自由曲面(例如 7 項)。無法精確控制高階項,可能會削弱高頻結構。
數控加工(CNC / Diamond Turning)適合非球面,但對於高階自由曲面(特別是28項)可能會產生加工紋理。
離子束拋光(IBF, Ion Beam Figuring)可以精修高頻結構,適合精確控制高階自由曲面形狀。
磁流變拋光(MRF, Magnetorheological Finishing)適合修正低至中階 Zernike 結構,可能需要與 IBF 結合使用。
3. 表面粗糙度與形狀精度
形狀精度:
低頻形狀誤差需控制在 λ/10 ~ λ/20 以確保光學效能。
高階 Zernike 項目可能導致局部形變,影響波前誤差。
表面粗糙度:
若反射鏡應用於高能雷射或極紫外光(EUV),表面粗糙度應低於 0.5nm RMS。
傳統拋光難以達到此要求,需要超精密加工(如 IBF 或 MRF)。
4. 测量与检测
干涉测量(适用于低阶形貌)
CGH(计算全息片)或 Shack-Hartmann 传感器(适用于复杂自由曲面)
AFM(原子力显微镜)或白光干涉仪(用于纳米级粗糙度测量)
5. 成本与可行性
第一面镜子(7项):采用 CNC 加工 + 传统抛光 或 MRF 修正即可满足需求,成本较低。
第二面镜子(28项):需要高精度数控加工 + 精密抛光(MRF/IBF),成本高昂。
若表面曲率变化剧烈,还需评估是否能进行有效测量与校准。
結論
第一面鏡子(7項)較易加工,可透過 CNC+拋光完成。
第二面鏡子(28項)加工難度高,可能需要 IBF 或 MRF 修正。
建議與光學加工廠討論是否能達到設計規格,並考慮製造公差對光學性能的影響。
若加工成本過高,可考慮簡化 Zernike 表達式,降低高階項數量,以提高可製造性。 |
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