面板检测用显微镜光学系统设计

sanjigi

这是一篇陈 鲁,李志强在2021年发表的一篇文章，以下是提要内容。搜索了一下，貌似没有重复，如有请管理员删帖。

摘要：为了实现对面板上缺陷精细分析和分类，设计了可见光波段、数值孔径为0.42 的复消
色差平场显微物镜和照明光学系统。通过合理结构优化、光焦度分配和材料的选择，优化出
平场复消色差物镜，使其MTF 曲线接近衍射极限。采用科勒照明匀光方案，设计照明光学系
统，并用Lighttools 软件对照明光学系统进行仿真。实验表明，光学系统分辨率达到0.775 μm，
在成像视场范围内照明均匀性可以达到98% 以上。设计结果与实际测试结果一致，可满足高
精度面板检测使用要求。

王富贵

您好，想跟您讨论下
文中提到：追迹 2000 万条光线，得到辐射照度分布图，如图 9所示。从图中可以看出：照射面上的光斑为圆形且均匀，直径约为 1.2 mm；在 X 方向上，最小辐射照度为 0.499 W/mm2，最大辐射照度为 0.514 W/m2，平均辐射照度为 0.508 W/mm2，均 匀 性 为 98.2%； Y 方 向 上 最 小 辐 射 照 度 为0.501 W/mm2， 最 大 辐 射 照 度 为 0.515 W/mm2，平均辐射照度为 0.509 W/mm2，均匀性为 98.4%。
这个里面的最小/大辐照度以及均匀性的数据怎么才能在LT中得到？

sanjigi

我发布此内容是因为我认为有人可能会发现这些材料很有用。
而我对光学还只是个初学者。
所以我发布了它，但我并不完全理解其内容。非常抱歉，我无法给您一个充分的答案，因为我也是 Lighttools 的初学者。我确信你会在这里学到很多东西。（我使用了机器翻译，所以如果我违反了任何礼仪，请原谅我。）