求助碳化硅晶圆利用偏振检测的缺陷光路设计的文献

小惊麟

在检测碳化硅的微管类存在应力的缺陷时，基于碳化硅晶体各相异性的特定，使用了透射式的包括了起偏和检偏的光路设计，然而在检测的过程中，发现在转动晶圆的过程中，图像会出现照明不均匀的现象，然而在未放入晶圆时转动起偏器和检偏器光路照明均匀性良好，证明是加入了被测物碳化硅晶圆后才引入的变量，请问该如何解决这个问题或者有无相关的文献资料。