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[文献分享] 离轴抛物镜检测中调整误差对波前畸变的影响_光学+精密工程

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    [LV.9]以坛为家II

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    小白

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    发表于 2024-9-24 15:21 | 显示全部楼层 |阅读模式
    本帖最后由 XXG 于 2024-9-24 15:23 编辑


    摘要:对离轴非球面在光学加工和后期装调阶段的光学检测进行了研究,分析了检测过程中调整误差对波前畸变的影
    响。以加工半径为10000mm、二次曲面系数为-1、口径为500mm、离轴量为425mm 的离轴抛物面为例,建立了各个
    调整参数对波前畸变影响的物理模型及数学模型,调整误差主要包括俯仰与高低、偏摆与离轴量及绕其子光轴旋转3组
    参数。应用 matlab软件对调整误差对波前畸变的影响进行了仿真分析,对相应的仿真结果进行了实验验证。结果显
    示,仿真与实验结果一致性很好,证明了理论模型的正确性。分析得到的相应结论适用于所有离轴非球面镜的调整误差
    分析。
    关 键 词:离轴非球面;光学检测;波前畸变;调整误差

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