干涉测物体厚度

whaleroc

求助社区的各位大佬，本人想设计一个利用干涉测量透明物体如硅片类的厚度的光学系统，利用物体上下表面反射光干涉进行测算，奈何光学设计方面的经验浅薄，没有什么好的思路，想来咨询各位大佬，找找思路。请问物面设置在物体下表面好还是设置在激光器发射端比较好？烦请社区大佬答疑解惑。
想法的大致结构图如下：

777aoaoao

这样弄就行了吧，比较经典的干涉模型

whaleroc

777aoaoao 发表于 2024-7-3 16:56
这样弄就行了吧，比较经典的干涉模型

我想问一下上下表面反射的顺序怎么设置呢？

whaleroc

777aoaoao 发表于 2024-7-3 16:56
这样弄就行了吧，比较经典的干涉模型

我又考虑了一下，如果要对干涉仿真是您那个图方便些，测厚的话应该不用把干涉情况画出来，直接聚焦就行。