面形精度PSD用什么设备量测

电子厂女工XP · 发表于 2024-5-13 14:14

在精密光学件加工，面形精度很多都有要求量测功率谱密度PSD。请问要怎么理解，使用什么设备量测。具体量测时如何执行的呢？

皮卡丘1009 · 发表于 2024-5-13 16:50

本帖最后由皮卡丘1009 于 2024-5-13 16:59 编辑

可以拿zygo干涉仪测，对于加工后光学元件的中频面形误差，可选用功率谱密度（PSD）曲线来进行评价。

doginrein · 发表于 2024-5-13 17:28

除了采用干涉的方法，现在也有用相位偏折的方法来测试，目前主要用于自由曲面反射镜的面型测试，效率会比干涉方法高很多，精度当然比不上干涉方法

电子厂女工XP · 发表于 2024-5-14 08:45

皮卡丘1009 发表于 2024-5-13 16:50
可以拿zygo干涉仪测，对于加工后光学元件的中频面形误差，可选用功率谱密度（PSD）曲线来进行评价。 ...

感谢答疑，另外，量测PSD时，加窗函数的作用是为了让曲线的噪音更少？

皮卡丘1009 · 发表于 2024-5-14 09:20

是，可以抑制噪声。可以看看这个论文《高功率激光装置光学元件PSD1检测方法的研究_张国伟》。

电子厂女工XP · 发表于 2024-5-14 20:19

皮卡丘1009 发表于 2024-5-14 09:20
是，可以抑制噪声。可以看看这个论文《高功率激光装置光学元件PSD1检测方法的研究_张国伟》。 ...

非常感谢！！！

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