功率谱密度PSD

电子厂女工XP · 发表于 2024-4-30 14:13

在精密光学件加工，面形精度很多都有要求量测功率谱密度PSD。请问要怎么理解，使用什么设备量测。具体量测时如何执行的呢？

gloryhefei · 发表于 2024-4-30 14:50

功率谱密度PSD，我理解这个不是冲击振动的图谱吗？拿振动台测试？

电子厂女工XP · 发表于 2024-4-30 16:46

gloryhefei 发表于 2024-4-30 14:50
功率谱密度PSD，我理解这个不是冲击振动的图谱吗？拿振动台测试？

不是诶，是用来表征面形的。PSD(Power Spectral Density)，即功率谱密度, 是基于傅里叶分析，在指定空间频率域范围内，将表面形貌的高低起伏，转换为空间频率域上，高中低频形貌分量的强度谱线分布。这种基于空间频域的“能量分布”分析，在预期光学表面的散射性能时非常有用。散射是光学、半导体和超精密机械应用中，超精密表面的关键性指标。

gloryhefei · 发表于 2024-4-30 17:13

电子厂女工XP 发表于 2024-4-30 16:46
不是诶，是用来表征面形的。PSD(Power Spectral Density)，即功率谱密度, 是基于傅里叶分析，在指定空间 ...

感谢解答，概念搞混淆了

电子厂女工XP · 发表于 2024-5-13 14:14

在精密光学件加工，面形精度很多都有要求量测功率谱密度PSD。请问要怎么理解，使用什么设备量测。具体量测时如何执行的呢？

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