我需要怎么做，各位大佬求指教

Wiucas.123

设计的一组光刻设计光路图，我想通过光路图，把市面上有的透镜给替换上去，接下来我需要准备些什么材料，或者提供些什么参数，各位行业大佬求指教

光学小伽

可以哦，上来就搞光刻机镜头。都搞光刻镜头，一点打样费用，不应该节省啊，毕竟设计都难，如果还限制面型，得不偿失。所以先设计出来，再考虑替换。

yunni

没弄过  无责任猜测一下  先把现有镜片的参数弄到，导入到zemax里面代替口径或者面型最相似的镜片，然后再优化其他镜片？

CTF

zemax里材料框边上的方格右击选择替换subsitiute进行锤形优化试试，也可以手动选择折射率阿贝数接近的材料替换

世界应该有光

一般是读取每个镜片的焦距，选取焦距接近的，可以用efly/eflx。也可以用宏直接读取。有个问题就是用在光刻镜头上材料的透过率、折射率均匀性要求都比较高，不知道你这个波段在高能量密度应用下材料的透过率会不会衰减。应用在i线的光刻镜头都是使用紫外优化过后的材料，CDGM的包括QF50GTI/H-K90GTI/H-FK61GTI/F4GTI，SCHOTT的N-BK7HTI/FK5HTI/LF5HTI/LLF1HTI。