一些玻璃设置的最小波长365nm，而i线光源有一定线宽，到底能不能用这些玻璃？

songshaoman · 发表于 2023-11-17 15:16

本帖最后由 songshaoman 于 2023-11-17 15:17 编辑

设计i线（365nm波长）光刻镜头，用成都光明玻璃库，一些玻璃设置的最小波长365nm，而i线光源有一定线宽，导致很多玻璃不在适用范围，如图所示。

这些玻璃用于小于365nm的光会怎么样？折散射系数不确定还是透过率下降？

能不能改了参数后再用这些玻璃？
有一些离得比较远，比如截止到400nm就算了，这几款很可惜啊,色散之类的很适合消色差用。

楚静竹 · 发表于 2023-11-17 15:31

还有色差的吗我一直以为光刻镜头波段很窄。玻璃库里面有写每种材料在各个波长的透过率，很多都是400以下就骤降，只有一部分能往下继续顶一顶。举个例子：HZF6在370nm波段10mm透过率只有19%

songshaoman · 发表于 2023-11-17 16:53

楚静竹发表于 2023-11-17 15:31
还有色差的吗我一直以为光刻镜头波段很窄。玻璃库里面有写每种材料在各个波长的透过率，很多都是400以下就 ...

国产光源，差得很，现在按3nm做，可能是国外的不卖？或者窄线宽的功率不够？

大白小帅 · 发表于 2023-11-17 17:06

i线365nm以下的透过肯定就那样了，降的很快，要往下宽一点的光谱，还是石英跟氟化物好

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