[已解决]光刻镜头公差分析后对应的MTF需要达到多少（例如公差分析前100线对/mm时mtf为0.55）

世界应该有光

如题，用在h线405nm的光刻镜头在公差分析后90%的概率mtf应该达到多少算合格？比如0.3、0.4还是0.5？

最佳答案

月排行榜 / 总排行榜

mmgg998

2023-8-31 18:56

世界应该有光 发表于 2023-8-31 14:36
就是说光刻投影镜头公差分析不看mtf，只要公差分析波像差在0.25λ以内或者更小就行？

嗯嗯。h线是不是0.25λ就不确定了。

跳转到最佳答案楼层

mmgg998

光刻镜头用波像差评价

世界应该有光

mmgg998 发表于 2023-8-31 09:04
光刻镜头用波像差评价

波像差是一个考虑因素，但是分析系统具体能达到多少分辨率还是得看mtf吧。

mmgg998

世界应该有光 发表于 2023-8-31 09:57
波像差是一个考虑因素，但是分析系统具体能达到多少分辨率还是得看mtf吧。

mtf都是达到衍射极限的，不会测mtf，都是干涉仪测波像差

世界应该有光

mmgg998 发表于 2023-8-31 13:57
mtf都是达到衍射极限的，不会测mtf，都是干涉仪测波像差

就是说光刻投影镜头公差分析不看mtf，只要公差分析波像差在0.25λ以内或者更小就行？

mmgg998

世界应该有光 发表于 2023-8-31 14:36
就是说光刻投影镜头公差分析不看mtf，只要公差分析波像差在0.25λ以内或者更小就行？

嗯嗯。h线是不是0.25λ就不确定了。