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[求助] 二元面的相位范围是-31到1.8,加工环带数m出现-1,可以加工吗?

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  • TA的每日心情
    开心
    2024-10-29 19:42
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    [LV.8]以坛为家I

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    发表于 2023-8-8 18:25 | 显示全部楼层 |阅读模式
    本帖最后由 一模 于 2023-8-8 19:12 编辑

    求问站友,我在做二元面优化时,在一个平面上加入了二元面2的相位约束,但是观察相位时发现,它的相位范围是[-31.4,1.8]。

    做环带分析时,发现cycles有±1出现,请问这样可以加工吗?



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  • TA的每日心情

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    发表于 2023-8-8 20:24 | 显示全部楼层
    正负环没关系,关键是你环带太多,太密了,得修改一下
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  • TA的每日心情
    开心
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     楼主| 发表于 2023-8-8 20:32 | 显示全部楼层
    蓝玉非梦 发表于 2023-8-8 20:24
    正负环没关系,关键是你环带太多,太密了,得修改一下

    就是说加工分析的宏中,不需要看左边一列的环带正负,只需要看右边的半径所在位置对吗?我现在的环带最小间距只有3μm,确实太小了,请问如何控制最小环带间距呢?

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    发表于 2023-8-8 21:32 | 显示全部楼层
    本帖最后由 蓝玉非梦 于 2023-8-8 21:35 编辑
    一模 发表于 2023-8-8 20:32
    就是说加工分析的宏中,不需要看左边一列的环带正负,只需要看右边的半径所在位置对吗?我现在的环带最小 ...

    控制一下衍射面系数,XDVA,PRAM,等等
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