如何优化圈入能量？

小鱼鱼小旭旭

想请教一下论坛的前辈，想要一个投影光学系统的圈入能量集中度在一个像元内大于80%，我该如何对其进行优化操作？

liuwei01

GENC操作数，几何圈入能量（距离）。该操作数计算到指定圆形圈入，方形圈入，仅x方向，或仅y方向（狭缝）的由百分比(Frac.)定义的能量分数的距离。对于有焦模式，单位是微米。对无焦模式，单位是无焦模式的单位。其它参数是： 采样(Samp)：光瞳采样，其中1生成32×32，2生成64×64。 波长(Wave)：波长编号（用0表示多波长）。 视场(Field)：视场编号。 类型(Type)：1表示圆圈入，2表示只有x方向，3表示只有y方向，4表示方形圈入。 参考点(Refp)：使用的参考点。用0表示主光线，1表示质心，2表示顶点，3表示点列中心。 无衍射极限(No Diff Lim)：如果是0，结果被衍射极限所限定，否则计算的时候不考需要考虑衍射。 也可参见GENF，DENC，DENF和XENC。

songshaoman

大前提是整体性能提升吧？单拉一项不很快把像质跑飞了么，现在但看圈入能量，就知道点列图还没到衍射极限

kelo

本质上还是要优化像差，光斑缩小了能量也多了