有没有极小缺陷检测的好方案

技术暴徒 · 发表于 2023-5-22 18:47

如题，加工很好的光学玻璃

Ds12345679 · 发表于 2023-5-26 18:16

夏特哈特曼检测法

技术暴徒 · 发表于 2023-6-8 21:21

Ds12345679 发表于 2023-5-26 18:16
夏特哈特曼检测法

这不是测波前的方法吗，测不了缺陷

kaiz · 发表于 2023-6-22 15:23

AFM? 干涉显微镜？好像还有3D显微镜

王小白 · 发表于 2023-8-28 11:24

白光干涉仪

Dolleon · 发表于 2023-8-28 14:38

不清楚你说的极小缺陷是多大的尺度，我提供几个方法：

1.二次元或三次元仪；

2.偏振显微镜（可以检测微米级别缺陷）；

3.马赫-曾德尔干涉仪和迈克尔逊干涉仪；

4.电子显微镜（芯片检测原子级别的缺陷）

ArisZWH · 发表于 2023-9-4 03:48

如果是表面的形状缺陷，还可以用profilemeter来测，精度是可以达到微米以下的

技术暴徒 · 发表于 2023-9-10 19:26

ArisZWH 发表于 2023-9-4 03:48
如果是表面的形状缺陷，还可以用profilemeter来测，精度是可以达到微米以下的

没太明白，能所的清楚一点吗

D_shu · 发表于 2023-9-19 09:00

迈克尔逊干涉仪

liuwei8747 · 发表于 2023-9-21 11:20

共聚焦显微镜，白光干涉仪都可以

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