大视场大数值孔径显微物镜光学设计

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                                                              大视场大数值孔径显微物镜光学设计
来源：激光与光电子学进展，发表时间：2022-02-14
                                                                      黄木旺 ，刘旭 ，林法官
                                          浙江大学光电科学与工程学院，浙江 杭州 福建福特科光电股份有限公司，福建 福州
摘 要： 在纳米激光直写加工系统中，显微物镜是其中的关键部件，行业发展的趋势是在大数值孔径下具有更大的物方视场，并且能适应 TPP 胶折射率的变化。本文对比当前 TPP 效应研究所用显微物镜的指标，挖掘了物方视场、NA 和镜片数的关系 Hd 指标，并提出物镜敏感度的指标 SSI。结合 SSI 设计了一款波段为 500-800 nm，NA>1.3，物方视场为 1.0 mm 的显微物镜。该物镜的设计结果为，MTF 曲线接近衍射极限，RMS 波像差小于 0.07 λ，以内调焦方式来适应 TPP 胶折射率的变化。公差分析表明，设计结果具有可行性。
关键词 光学设计；大视场；大数值孔径；显微物镜；平场复消色差；激光直写；微纳加工