zemax二元面结构优化指导

gali

在做超表面透镜方向的研究，用zemax中的二元面2进行仿真，组里没有人做过这个方向，基本都是根据别人的文章设计，看了社区里的一些帖子优化，目前优化到现在这个程度就优化不下去了，请问目前看起来这个系统如何，还有哪些明显需要改善的地方
图1 点列图，基本都把弥散斑优化进了艾里斑内，除了最大视场角的情况

图2 MTF曲线基本达到了衍射极限

图3 畸变有点大，用DIMX优化过，但是效果不好，降到5%左右点列图和MTF都会变差，别人的文章里没有具体些要控制在什么范围，但是最后图像模拟出来的结果畸变程度看起来和文章内差不多，并且我看可以通过修改视场高度来改善一定畸变的情况

图4 这个是修改物高前后的对比

图5 最后就是线宽问题，我在社区中看到加工线宽要在um级，但我算出来基本要nm级了，不过我做的方向最后应该是要通过光刻进行加工，后面超构透镜的结构需要通过另一个软件设计，请问现在这种线宽有加工出来的可能吗，并且这个圈数这么多结构是不是会比较复杂

oxygen54

请问下 你的二元相位面只优化一个波长的嘛

xscl

单从像质来看，弥散斑和MTF都是衍射限了，畸变略大也凑合吧。
但这个环带数确实挺多的，我之前接触的顶多几十环，线宽在零点几毫米为主，现在从你的图里看环带数要一千多环，线宽在零点0000几，这个用光刻工艺是否可行，建议和加工方进行讨论，你可以出张零件图纸咨询一下

一蓑烟雨任平生

有没有原文件

撒默尔

你这个要加工出来吗，如果仅仅是理论设计，那没什么问题。如果要加工，最好先咨询加工单位能不能加工出来