现在国内光学镜片面型的加工精度上限是多少？

努力修行的人

我的果果超可爱 发表于 2023-1-9 23:03
超高精度的好像得用压膜的方法，听牛人说加工会有微纹路总是不好，高精度模具压膜的相对成本低一些。

是模压吧，模压能做到0.1um

努力修行的人

我的果果超可爱 发表于 2023-1-29 22:51
我司现在做的是WLO wafer level optical
精度达不到0.1um
看面型 基本在0.4~4um之间

我不太懂了解这个，只是看前工程的数据是这样的。

努力修行的人

我的果果超可爱 发表于 2023-1-29 22:51
我司现在做的是WLO wafer level optical
精度达不到0.1um
看面型 基本在0.4~4um之间

我不太懂了解这个，只是看前工程的数据是这样的。

Ds12345679

我们公司基本是用ZYGO给出面型检测报告，一般是Pv≤λ/4，@632.8nm，RMS≤λ/20（31.64nm）。对于球面而言，我们检测的是面型的局部偏差，ΔN，而不是被测面型半径相对名义半径的偏差，N。到现在为止我们没有遇到有要求0.1nm的面型，ZYGO的精度是λ/10，我们没有0.1nm那么高精度的仪器。

Ds12345679

后来想了想这个可能是制作光刻机镜头的精度，调查这个可能发现哪里有干将。另一个就是要采购蔡司的玻璃，很贵的。镜框是铟瓦钢，镜头总长近半米，也很费钱。非球面要用离子法去除，精度到原子级别。装调完达不到精度我估计光学设计师哭都找不到调。