甚长波碲镉汞红外焦平面探测器

羊羊学光学

来源：红外与毫米波学报，发表时间：2022-10
                                      李雄军1， 邹 雷2，
                          1. 昆明物理研究所，云南 昆明 650223；2. 中国人民解放军63963部队，北京 100072


摘要：采用砷离子注入p-on-n平面结技术制备了77 K工作温度下截止波长分别为13.23μm和14.79μm、像元中心距为25μm的甚长波640×512探测器,并对其基本性能和暗电流进行了测试和分析.结果表明,对于截止波长为13.23μm的甚长波640×512(25μm),器件量子效率为55％,NETD平均值为21.5 mK,有效像元率为99.81％;对于截止波长为14.79μm的甚长波640×512(25μm),器件量子效率为45％,NETD平均值为34.6 mK,有效像元率为99.28％.这两个甚长波器件在液氮温度下的R0A分别为19.8Ω·cm2和1.56Ω·cm2,达到了"Rule07"经验表达式的预测值,器件噪声主要受散粒噪声限制,显示出了较好的器件性能.



关 键 词：甚长波；p-on-n；碲镉汞；焦平面探测器；R0A