平场显微物镜场曲咨询！！！

Oeback · 发表于 2022-10-10 17:25

对于平场消色差（复消色差）显微物镜，无限共轭，在设计时，场曲的指标是如何分配的？
比如10X NA=0.25，焦距18mm的平场无限共轭显微物镜，我在反向追迹设计时，
1. 对场曲的控制应该控制在多少范围内？有没有相关的理论依据？
2. zemax中对场曲的控制有哪些方式？

个人目前相关理解不知道对不对请大家指教。
Q1: 最大场曲应该控制在设计物镜的焦深范围内。NA=0.25, 对应理论焦深大概8um,则场曲应该在±4um内，不知道是不是这样？

这是我初步设计的在372lp/mm频率处的离焦MFT,满足MTF值的离焦区间大概在±4um。
此时对应的场曲如下，总感觉对应不上

lht_西 · 发表于 2022-10-10 22:04

场曲控制的操作数有FCGS、FCGT和FCUR

qlj · 发表于 2022-10-11 10:09

可以参照 ISO 19012-1 Flatness of field/PLAN ，里面有规定场曲的范围

Maxray · 发表于 2022-10-11 10:17

显微镜物镜的平场标准参考ISO 19012-1，场曲大小是按S和T方向的场曲（你的第二张图）来计算的，不是用peak MTF来算

123- · 发表于 2022-10-11 10:30

问题2：平像场复消色差物镜往往依靠若干个弯月形厚透镜来达到矫正场曲的目的。物镜的孔径角越大，需要加入的凹透镜数量越多。如图a为40倍物镜，其场曲主要依靠第一个弯月形厚透镜的第一个凹面来校正。第二个160倍的浸液物镜是依靠中间两个厚透镜来校正的。

Oeback · 发表于 2022-10-12 10:29

qlj 发表于 2022-10-11 10:09
可以参照 ISO 19012-1 Flatness of field/PLAN ，里面有规定场曲的范围

谢谢，我仔细看了，有个问题不太明白。这里面的平场要求只是针对主波长的吗？还是包括了F/D/C三个波长都需要满足平场条件。。。？

qlj · 发表于 2022-10-12 11:07

Oeback 发表于 2022-10-12 10:29
谢谢，我仔细看了，有个问题不太明白。这里面的平场要求只是针对主波长的吗？还是包括了F/D/C三个波长都 ...

这个ISO标准里面规定的是546nm，我们做的时候是只看这一个波长的

Ds12345679 · 发表于 2022-10-13 20:43

本帖最后由 Ds12345679 于 2022-10-18 13:26 编辑

广东省地方标准，规定了显微镜平场问题。你可以研读一下。平场物镜的平场比大于或等于0.85。

无源一哥 · 发表于 2022-11-11 09:32

发zmx可以帮你看看问题我做过类似nikon的λd na0.8的研发

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