求二维ftheta扫描物镜的设计经验

dragonfly

最近在设计二维f-theta扫描物镜，大家是先做一维的再做二维的么？我是直接在二维里面输入想要的扫描范围开始hammer，但是半天没反应。经常二十几分钟还是一动不动，有点奔溃。不知道大家怎么设计的，设计理念我主要参考了宋菲君老师的书，里面提到设计成Ftheta要引入负畸变，书中还提到主要使用操作数DISC，我用了但是效果很不好。尤其是边缘光斑变成长条形状，扫描范围不变的情况下怎么变成圆斑，最近在一团迷雾中，请大家指点迷津！！！谢谢

dragonfly

想到了，书中有说到引入负畸变是系统非对称。所以只要使DISC=0，就是ftheta镜了么？求解答

dragonfly

linghaisj 发表于 2021-8-25 10:38
主要还是初始结构要合理，后期优化就能很快达到收敛。把系统设置好后先用局部优化，这里不建议用DISC进行控 ...

感谢抽空回答
1. ’建议就用默认的评价函数，先从RMS半径开始优化，像差优化的差不多了再用波前优化‘
这里有点疑惑，一般我都是聚焦系统用RMS spot优化，afocal system用的是波前优化，这两种混用的目的是什么？怎么混用？有参考资料可以参考么？


2.’优化的时候可以用DISC去查看系统现在的畸变。其实场镜设计过程中，场曲和畸变同样重要，建议这两个一起关注‘
想问下像这种畸变你不去控制它，观察它的作用是什么呢？一般好的场镜设计是不是场曲畸变都比较小，畸变是负数这样子，有没有什么规律可循

dragonfly

linghaisj 发表于 2021-8-25 10:38
主要还是初始结构要合理，后期优化就能很快达到收敛。把系统设置好后先用局部优化，这里不建议用DISC进行控 ...

不好意思追加一条，因为hammer和局部优化的使用是hammer帮你找最优结构，局部优化是帮你在最优解的基础上进行优化。这是我的使用逻辑。看到你说的先局部优化再hammer，跟我的理解有点相斥，想问下是不是我的使用有误?

zewu

我最近设计的一款f-theta扫描物镜的顺序是这样的1. 首先在评价函数操作数里面控制好F数，像面大小等基本参数，然后使用默认评价函数里面的波前来优化。如果有初始结构就直接锤形，没有就先全局再锤形
2. 一般锤到点列图和MTF都还行就可以停了，然后这时候看系统的畸变和场曲差应该不会太差。但是我们需要的是F-theta畸变而不是默认的f-tan (theta)，调到f-theta畸变的视图，这个时候应该还很大。然后利用DISC来控制F-theta畸变，FCGS和FCGT控制子午和弧矢方向的场曲。一般f-theta系统对f-theta畸变的要求会很高，对场曲的要求会稍微低一点，具体的要求还是看甲方怎么说。
3. 加入新的操作数之后直接锤就行了，注意控制不同操作数的权重，优化到比较好的时候MTF图应该是这样的。