并行差动共焦轴向测量宽场误差修正方法

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并行差动共焦轴向测量宽场误差修正方法

正文部分：

来源：光学学报，发表时间：2020-10

叶一青1, 易定容1*, 蒋威1, 孔令华2**, 黄彩虹1

1华侨大学机电及自动化学院, 福建 厦门 361021;

2福建工程学院机械与汽车工程学院, 福建 福州 350118

摘要： 并行差动共焦三维成像方法通过将照明光分割为多光束,实现多点并行探测,解决了传统差动共焦成像中逐点扫描导致的成像效率偏低的问题,是一种理想的快速高精度三维成像方法。然而,在并行差动共焦检测过程中,系统光照不均和光学成像系统的场曲都会引起测量误差。分析了宽场成像过程中不可避免的光照不均及光学系统场曲等因素对并行差动共焦轴向测量的影响,提出了一种宽场误差的修正方法,建立了并行差动共焦轴向测量宽场误差修正的理论模型。实验证明,该方法可以有效地抑制系统光照不均对测量结果的影响,并且校正了光学成像系统场曲等引起的轴向测量误差,保证了并行差动共焦纳米量级轴向测量准确度在全视场范围内的普适性。该方法实施过程简便,适用于其他并行共焦检测方法的误差修正。

关键词 显微; 并行共焦显微镜; 三维形貌测量; 物方差动测量; 误差修正; 光照不均