Applied Optics-59卷13期-光学设计与制造-通过晶圆级光学技术制造的非球面微透镜的...

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Vol. 59, Issue 13, pp. 3910-3919 (2020)，https://doi.org/10.1364/AO.388453

通过晶圆级光学技术制造的非球面微透镜的面型的公差

      公差是朝着制造高质量且具有成本效益的镜片表面迈出的重要一步。当平行制造多达数万个微透镜且其表面无法单独形成时，对于晶圆级光学器件而言至关重要。但是，由于制造和测试技术的差异，为微光学开发的方法无法直接转换为微透镜。特别地，微透镜表面通常限于圆锥形表面。在这里，我们研究了微透镜光学性能与其表面形式之间的联系，提出了适合公差目的的表面形式表示。然后，我们将它们与用于容忍真实光学系统的通用表示形式进行比较。还提供了测量的微透镜表面形式，以使公差程序切实可行。此外，我们提出了微光学的术语定义，是对微光学的典型术语的补充，以简化光学设计人员和制造商之间的交流。基于本文提出的结果，提出了微透镜公差准则。我们建议将其应用为朝着更有效，更全面的容忍程序迈出的第一步。