基于同步辐射的硬X射线位相补偿镜的研究与检测

东少

基于同步辐射的硬X射线位相补偿镜的研究与检测

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来源：光学学报，发表时间：2020-01-20

作者：田纳玺   蒋晖   李爱国   梁东旭   闫帅

摘要：上海光源线站工程纳米探针线站将采用位相补偿的方法来实现硬X射线10纳米级的极限聚焦，需要开展前期技术研究。本工作设计和加工了一台位相补偿的压电变形镜，使用斐索干涉仪离线表征了其压电变形性能，并发展了迭代全局优化算法，实现了变形镜对于目标面形的快速高精度逼近。结合X射线散斑扫描技术，在光束的聚焦模式下测试了变形镜在线位相补偿性能和对聚焦光斑尺寸的优化能力，实验结果显示，焦斑尺寸由初始的43.4 μm经位相补偿后被压缩到了12.9 μm。上述研究为在上海光源纳米探针线站实现快速位相补偿奠定了基础。

关键词：X射线变形 位相补偿 X射线散斑 硬X射线聚 同步辐射