[已解决]关于二元面中extra data的设置问题

794706227 · 发表于 2017-11-29 11:43

这个文件不是放在macro里的，是在extend里

大鹏展翅11 · 发表于 2017-11-29 15:01

794706227 发表于 2017-11-29 10:30
哦，好的，非常感谢您。不知道您了解这些都是从什么资料上看到的，能不能推荐下看看？

上课推荐的教科书，微光学与系统，衍射微光学设计

794706227 · 发表于 2017-11-29 15:21

大鹏展翅11 发表于 2017-11-29 15:01
上课推荐的教科书，微光学与系统，衍射微光学设计

好的，谢谢您

蓝玉非梦 · 发表于 2022-3-4 09:07

大鹏展翅11 发表于 2017-11-29 10:03
最小水平线宽等于the minimum radial change除以台阶数

您好最小水平线宽是加工水平还是在哪里查看的，
另外台阶数也能在phase里看到么，怎么看的？谢谢

大鹏展翅11 · 发表于 2022-4-12 11:25

蓝玉非梦发表于 2022-3-4 09:07
您好最小水平线宽是加工水平还是在哪里查看的，
另外台阶数也能在phase里看到么，怎么看的 ...

理论上最小水平线宽是根据面型和台阶数定的，实际上可行与否要看加工水平。
zemax里二元面是间接设计，台阶数无法体现

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