紫外加工物镜

ff123 · 发表于 2025-4-9 16:05

请问各位大佬，在设计紫外加工物镜时，光斑形状重要还是波像差重要

x_ultrafast_x · 发表于 2025-4-9 20:08

如果紫外的波长固定而且比较窄的话，像差没什么意义吧。光斑形状更为重要。

ff123 · 发表于 2025-4-10 08:43

x_ultrafast_x 发表于 2025-4-9 20:08
如果紫外的波长固定而且比较窄的话，像差没什么意义吧。光斑形状更为重要。 ...

大佬，我这个和视场相关的像散（ASTI），彗差（COMA），畸变，场曲已经控制的很小了，但是轴外视场的光斑还是不圆，还能如何控制形状呀？

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