抛物面反射镜表面有周期性结构

只身过荒原

加工了一片抛物面反射镜，口径190mm。加工出来后发现成像有重影现象，也就是主焦点附近还有四个点。但是一直找不到原因所在，翻阅了很多资料最后在一篇文章中看到加工中的周期性结构会导致这种现在，文章如下图1。图二为加工的抛物面干涉仪检测的图。想请教一下，
1.如何从干涉仪的图中看出来有周期性结构？
2.加工出来的抛物面反射镜的面型rms检测是小于1/40波长的。那应该如何去对这样的反射镜提加工要求才能避免这种情况呢？
感激不尽

frog_0123

问题1 干涉仪面形图中有周期性的环； 问题2  按空间频段提要求，具体参见GB/T 13323-2009 光学制图 （附录C）

只身过荒原

frog_0123 发表于 2025-2-11 09:23
问题1 干涉仪面形图中有周期性的环； 问题2  按空间频段提要求，具体参见GB/T 13323-2009 光学制图 （附录C ...

请问这种周期性结构可能是加工过程中的什么工序造成的呢？

frog_0123

只身过荒原 发表于 2025-2-11 09:24
请问这种周期性结构可能是加工过程中的什么工序造成的呢？

不同加工方式引入的工序也不一样，需要咨询加工方

是是非非

这是直接用单点金刚石车的？那有可能是车刀纹

我们去探险吧

下面那个貌似是轮廓仪的面型图？
这种环带现在的加工方式基本都会有 不过一般都会增加平滑面型工序减少高频误差
测出的面型使用分析软件进行空间滤波后观察结果 提要求时就按滤波后面型要求提

只身过荒原

是是非非 发表于 2025-2-11 11:29
这是直接用单点金刚石车的？那有可能是车刀纹

材料是微晶玻璃，具体的加工方式我也不太清楚，但是我觉得微晶应该不会是直接车的吧

只身过荒原

我们去探险吧 发表于 2025-2-11 13:17
下面那个貌似是轮廓仪的面型图？
这种环带现在的加工方式基本都会有 不过一般都会增加平滑面型工序减少高 ...

感谢回复，下面那个是干涉仪出的报告的图。也就是说这个在加工中缺少了平滑面型的工序是吧。其实测试出来的结果rms也能达到15nm。提的要求是1/40波长。所以我才觉得只要求面型精度是不是并不能防止这种情况的出现。二楼说的那种用psd要求粗糙度的方式我还在看相关资料