晶圆检测显微照明系统疑问

大伏天

佬们，遇见个疑惑点，晶圆检测显微镜照明系统，我查了一下大多数物镜的像方焦平面在物镜里面，那就不能按照下图1这种原理设计，实现出射为平行光达到均匀照明。

                               图1

我换了个方向如下设计，物镜是简单的设计，很多指标没管，简单的默认函数跑了一下：

                         图2

利用lighttools仿真，光源选择辐照度功率给了1W，仿真结果如下图。

                      图3（接收器单位选择辐照度）


                      图4（接收器单位选择光通量）

                            图5
图1，利用通过焦平面的出射光线为平行光，实现均匀照明。图2我先给一组聚光镜，控制光源的NA，并进行一次成像，在给一组准直镜，再经过物镜（无限共轭远的），最终汇聚在检测平台。

疑问点1：晶圆检测照明系统用图1原理还是图2原理？自己查询的文献许多用的图1中原理，但是物镜物镜的后焦面是在透镜里面，明显行不通。

疑问点2：接收器单位换为光通量时，仿真结果如图4，为什么中间光照度突然消失？

有没有佬帮忙解答一下谢谢

匍匐前进

没设计过，但我见过的一个设计其物镜后焦面在外边啊，没在镜头里边。就是图1的原理

大伏天

匍匐前进 发表于 2025-2-9 08:25
没设计过，但我见过的一个设计其物镜后焦面在外边啊，没在镜头里边。就是图1的原理 ...

物镜用的是奥林巴斯的，大多数在里面