优化filed lens 要求RMS<30,怎么设置操作数？RSCH/RSCE?

3288412310 · 发表于 2025-1-22 16:47

达利园效应 · 发表于 2025-1-22 16:54

RECE就行了啊，有渐晕用RSRE

amateur · 发表于 2025-1-22 17:06

本帖最后由 amateur 于 2025-1-22 17:07 编辑

30um?一般都用RSCE
还有RSCH/RSRE/RSRH 具体根据系统孔径类型去选用，然后采样设置高一点，不然对不上点列图的数据

3288412310 · 发表于 2025-1-22 17:59

amateur 发表于 2025-1-22 17:06
30um?一般都用RSCE
还有RSCH/RSRE/RSRH 具体根据系统孔径类型去选用，然后采样设置高一点，不然对不上点列 ...

要求30nm，系统孔径NA:0.14

Maxray · 发表于 2025-1-23 08:52

3288412310 发表于 2025-1-22 17:59
要求30nm，系统孔径NA:0.14

你确定优化到30nm有意义？NA0.14的艾里斑半径在546nm下有2.4um，怎么可能优化到30nm

amateur · 发表于 2025-1-23 09:01

Maxray 发表于 2025-1-23 08:52
你确定优化到30nm有意义？NA0.14的艾里斑半径在546nm下有2.4um，怎么可能优化到30nm
...

可能是极紫外的系统吧，可见光和低频紫外理论上都达不到30nm

Maxray · 发表于 2025-1-23 11:04

amateur 发表于 2025-1-23 09:01
可能是极紫外的系统吧，可见光和低频紫外理论上都达不到30nm

没可能，NA0.14要达到艾里斑直径30nm（半径15nm）以内，光源波长要小于4nm，怎么可能有这种光源

tzt · 发表于 2025-1-23 13:48

要求传递错了？30nm不科学，大概率是30μm

龅牙小萝莉 · 发表于 2025-1-23 19:00

大概指的是波前RMS，而不是光斑RMS半径

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