Lightools仿真周期性缝隙图案的能量分布问题求助

想做一个1um掩膜版的能量分布仿真，现在模拟线宽：线距比1mm:1mm的样板的能量分布，出现了问题！
为什么得到的能量分布是这样一个点斑，按照我的理解这个1mm应该没达到衍射条件，应该按照直线传播理论，也应该是一个周期性的图案才对吧。



同样换了线宽：线距5mm:5mm的样板，得到的分布图光斑还是没有分开






然后试了下不做成周期图案，把线宽放到很大才逐渐有了些轮廓，实在想不通，求各位大佬解答。






最后试了下1um的，完全不懂了，有做过相关仿真的大佬能指导下是哪里出问题了吗

先检查下探测器密度是不是足够

已解决，是分区数没设置好的问题

匿名者 发表于 2025-1-22 09:05
先检查下探测器密度是不是足够

感谢

匿名者 发表于 2025-1-22 09:05
先检查下探测器密度是不是足够

你好，我改了探测器密度，1mm的可以了，但是1um的还是不行，改完之后探测面什么都没有了

匿名者 发表于 2025-1-22 10:11
你好，我改了探测器密度，1mm的可以了，但是1um的还是不行，改完之后探测面什么都没有了

光线追迹信噪比的问题，你是做MLA的应用？

这个正常，你准直光实际上是带有一定角度的，两个狭缝之间的光会相互干扰，远场来看就是一个圆形光斑。线宽放大能看到图案，说明准直的角度比较小，没有干涉到隔壁的孔。解决方案有：
1. 在狭缝后面增加一个成像镜头，投影来看能量分布
2. 紧贴狭缝后面建立接收器。