利用干涉仪检测调整非球面物镜的光路

XXG

摘 要:介绍了利用千涉仪检测调整非球面物镜光路的方法。调整分粗调和精调两个阶段。在粗调阶段，以激光的光轴作为检测光路的基准光轴，建立起共轴光路检测系统;在精调阶段，以WYGO千涉仪内部倾斜系数作为调整依据，进行物镜的精调。用千涉仪测得的物镜的面形质量为:波前PV值优于入/8，RMS值达到入/100(入=0.6328um)，检测结果满足波前检测镜头的要求。这表明此种光路调整方法能够反映物镜真实的面形精度，并且能用于高精度的物镜检测。
关键词:非球面光学;光学调整;千涉仪测量;同轴