等厚等倾复合型干涉仪

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摘 要：干涉仪是可以快速高效，非接触地获取被测元件信息的光学测量仪器。为拓展单个干涉仪应用范围，设计出一种
利用切换式系统，能根据测量需求实现等厚干涉和等倾干涉之间转换的复合型干涉仪。在介绍复合型干涉仪基本结构的基
础上，分析了干涉仪设计中需要注意的问题和事项，着重讨论了光源的选择，准直物镜像差要求，聚光镜设计参数。利用
ZEMAX软件完成了干涉仪光学系统的设计。最后，用FRED软件对干涉仪建模，进行仿真分析，得到了等厚干涉和等倾
干涉干涉图，干涉条纹均清晰可见。表明此干涉仪可应用于实际光学测量之中。
关键词：干涉仪；光学测量；切换式系统；光学设计；仿真