求助SIO2V材料文件

白云飞飞飞

求助！
如题:请问SIO2V是什么材料，我个人猜测应该是二氧化硅之类的衍生物，折射率大致在1.560786左右，但是不知道在那个库里。

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据我所知，SIO2V这样的写法只有蔡司在用，而且都是用在光刻机的投影镜头里面。蔡司的官网上没有找到这个材料的信息，但是在专利里面对SIO2V的解释是熔融二氧化硅材料（参见CN101107570A的这篇专利）。由于SIO2材料透光率、折射率在不同波长不同，而且波长范围非常广，据我的理解，其中V的意思指的是VUV（真空紫外光）的意思，能查到的蔡司用过SIO2V的都是光刻机的投影镜头，波长是193.37nm，正好在真空紫外(vacuum ultraviolet ,VUV) 的150~200nm波长范围。从蔡司的专利里查到这个材料最准确的折射率是 1.56078570，对应波长是193.37nm。
另外，我发现不同公司在用熔融二氧化硅材料设计光刻投影镜头时，波长不同，对熔融二氧化硅材料的简写也不一样，即便波长相同，同一家公司对熔融二氧化硅材料的简写也不一样（参见专利CN111381346A），所以我猜测应该是不同的加工工艺以及掺杂条件。