[已解决]CODEV中如何控制ST线衍射极限的分离

横眉 · 发表于 2024-3-6 09:57

如图，优化到中间阶段，ST的衍射极限分离的很多，原本初始结构还不错，越跑T线越低，请问这样有什么办法能够调整回来吗

最佳答案

Leslie

2024-3-6 10:20

把T方向渐晕减少

Leslie · 发表于 2024-3-6 10:20

把T方向渐晕减少

hhhddd · 发表于 2024-3-6 10:28

本帖最后由 hhhddd 于 2024-3-6 10:29 编辑

T比S差是正常的，还能看T的衍射极限吗？这个我还没找到过，您这个在哪看的。提高衍射极限如楼上所说

Sincerely · 发表于 2024-3-6 10:40

hhhddd 发表于 2024-3-6 10:28
T比S差是正常的，还能看T的衍射极限吗？这个我还没找到过，您这个在哪看的。提高衍射极限如楼上所说
...

请问为什么一般设计T的场曲峰值什么的会比S差啊，感谢

gdmkakaxi · 发表于 2024-3-7 09:04

Sincerely 发表于 2024-3-6 10:40
请问为什么一般设计T的场曲峰值什么的会比S差啊，感谢

因为T线不同光瞳的光线不对称，S线不同光瞳下光线的对称性好一些；

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