反射式偏心测量样品摆放要求

灰人xx · 发表于 2024-1-23 11:41

进行反射式偏心测量时发现，样品的摆放会对测量结果产生较大的影响，请问在进行反射式偏心测量时对产品的摆放具体有什么要求，为什么会有这样的要求

菜鸡一个 · 发表于 2024-1-31 10:16

摆放要求原则上是样品的光轴与测量设备的光轴要同轴，及倾斜和偏移都要同轴。一般设备操作时会要求校准载物台的倾斜和偏移。无论是透射或者反射式测偏心，都是将平行光束聚焦到焦平面上（透视式）或者表面的曲率中心处（反射式），然后旋转被测样品。若有中心偏出现，聚焦的像的旋转轨迹会画出一个圆这个圆的直径与中心偏的大小是成比例的

灰人xx · 发表于 2024-2-2 10:31

菜鸡一个发表于 2024-1-31 10:16
摆放要求原则上是样品的光轴与测量设备的光轴要同轴，及倾斜和偏移都要同轴。一般设备操作时会要求校准载物 ...

为什么要求要同轴呢，我理解反射式测的是各个表面球心相对于基准轴的距离，然后这个距离是由旋转画圆决定的，只要测出的每个球心都是准确的，那不就可以计算样品的偏心量吗，光轴的不同轴会对球心位置的计算有影响吗？

菜鸡一个 · 发表于 2024-2-2 14:07

灰人xx 发表于 2024-2-2 10:31
为什么要求要同轴呢，我理解反射式测的是各个表面球心相对于基准轴的距离，然后这个距离是由旋转画圆决定 ...

偏心值是以器件光轴为参考轴的。因此肯定是以器件光轴作为旋转轴画圆才能准确测量偏心值。按照离谱点的来分析，如果器件光轴偏了45°，画出来的圆不就会大了很大一圈

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