用于对光刻机上掩膜版的mask码成像的显微系统

宁必成

求助个显微系统的问题，就是这么一个物镜和目镜和一个灯加一个反射镜组成的显微系统，具体型号在图片里，我算的放大倍率是25，但是ChatGPT说是5，说这个型号的目镜组合这个型号的物镜就是放大倍率5，我不理解，麻烦各位大佬解惑

heguotan

就是5倍，无限远校正物镜的实际放大倍率是管镜（tubelens）的焦距和物镜焦距的比值，尼康标准管镜的焦距为200mm，因此10X物镜的实际焦距为200/10=20mm；你使用了另一个焦距100mm的透镜作为管镜，此时的放大率就是100mm/20mm=5