SYNOPSYS 光学设计软件课程四十八：从初始结构开始设计的微光刻透镜

dannie

SYNOPSYS 光学设计软件课程四十八：从初始结构开始设计的微光刻透镜你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。

1.镜片数22片

2.物高31mm

3.物方数值孔径NA 0.2

4.波长为UV

5.像方晶圆尺寸是12.66mm

6.总长小于1200mm

这种透镜在物方和像方上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。

首先，我们将使用 DSEARCH 为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

下面是对 DSEARCH 的输入：

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返回一个非常好的初始结构，我们将它保存。

使用命令为：SAVE LEFT11.

现在激活 ACON 2，我们使用 DSEARCH 来设计右半边的镜片组，输入命令如下：

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结果很好，我们保存了这个镜头，使用命令：

   SAVE RIGHT11.

现在把这两部分合并起来。再次激活 ACON 1，并输入：

    COMBINE 23

RIGHT11.

现在它们被合并成了一个镜头。

现在打开由 DSEARCH 为右半部分镜片组准备的优化宏，修改TOTL的设置，指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标，现在由 solve 控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。

file:///C:/Users/Lenovo/AppData/Local/Temp/ksohtml12352/wps6.png查看多视场衍射 MTF，在像质分析中，选择 MTF（衍射）  多视场衍射 MTF ，颜色为 M，然后运行 MMF

file:///C:/Users/Lenovo/AppData/Local/Temp/ksohtml12352/wps10.pngfile:///C:/Users/Lenovo/AppData/Local/Temp/ksohtml12352/wps11.png查看畸变图，在像质分析中，选择像差    畸变，颜色为 M   ，运行 DIS

我们有了一个非常好的微光刻镜头。

很高兴您选择 SYNOPSYS 来设计您的镜头，它可以快速的做出非常好的设计。