关于球差的计算问题

alva100 · 发表于 2023-11-23 10:29

大佬们，我现在有一个指标要求球差、慧差30nm，这个30nm应该通过什么计算得出

Maxray · 发表于 2023-11-23 11:00

你要问清楚这个指标的衡量标准是什么才行。像差的衡量有zernike系数、赛德系数、像面的横向像差，要先弄清楚用的是哪个评价的

alva100 · 发表于 2023-11-23 11:09

Maxray 发表于 2023-11-23 11:00
你要问清楚这个指标的衡量标准是什么才行。像差的衡量有zernike系数、赛德系数、像面的横向像差，要先弄清 ...

用干涉仪检测，应该是zernike吧，目前在设计阶段，球差要求的是小于30nm

迟早秃 · 发表于 2023-11-23 11:21

可以试试薄透镜系统的初级像差计算公式

bit_lzg · 发表于 2023-11-23 13:00

你可以去找一些光学设计的书籍，上面有球差的定义，不过都到30nm这种级别了，还是要求球差吗？不应该要求波像差？

alva100 · 发表于 2023-11-23 13:07

bit_lzg 发表于 2023-11-23 13:00
你可以去找一些光学设计的书籍，上面有球差的定义，不过都到30nm这种级别了，还是要求球差吗？不应该要求 ...

是的波像差也有要求但是达到了，就是这个球差不知道应该怎么换算成纳米单位

Ds12345679 · 发表于 2023-11-24 16:24

+
这个值的大小，很像波长632.8nm的1/20之一，

loner · 发表于 2023-12-8 09:21

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