干涉仪测面型

chenjiekang

请问有人知道干涉仪测试球面镜片表面面型的光圈怎么测试么？测出来的PV与局部光圈是什么关系？求解答

流了那个寸

对于球面镜片，激光干涉仪，例如ZYGO/VECCO激光干涉仪，一般测的是PV值和RMS值，而光圈一般是用样板进行测量的，至于PV和局部光圈的关系，我是比较模糊的。

METER

像Zogo测量的面形，测量得到的PV、RMS和像散等，光圈看含有power的PV值，局部的话去除power的PV值，一般情况就这么评估一下就行。

金木研

大部分情况局部光圈≈2*PV；
干涉仪测光圈（即曲率半径）要用到光栅尺，但是精度不如球径仪。