关于无限远显微物镜的后焦面控制问题

silence唯爱

个人有点不明白哈，为什么要控制后焦面呢？一般这种无限远显微镜头，都是要求的工作距，没有对后焦面的要求吧，个人疑问

有色金属

silence唯爱 发表于 2023-11-1 10:23
个人有点不明白哈，为什么要控制后焦面呢？一般这种无限远显微镜头，都是要求的工作距，没有对后焦面的要求 ...

是要做图案晶圆缺陷检测，在其频谱域做滤波，滤掉比如光栅的周期信号，只保留缺陷的信号。

silence唯爱

有色金属 发表于 2023-11-1 19:10
是要做图案晶圆缺陷检测，在其频谱域做滤波，滤掉比如光栅的周期信号，只保留缺陷的信号。

学到了，多谢回复。好像目前晶圆检测挺火的，是个好方向

有色金属

zemax如何将某一个面设置在透镜组前后焦面上？ - ZEMAX - 吾爱光设 - Powered by Discuz! (optzmx.com)
我先是在社区内找到这个帖子，这个梯子提到了codeV自带的firABCD矩阵可以算出前后焦面，我去codev进行了验证确实可以，不过这款软件我使用不太熟练，就暂时放弃，还是继续用zemax。
为了解决这个问题，查找了ABCD矩阵的计算方式，实际上就是几何光学的近轴光线追迹法，具体参考下面的知乎的链接。
几何光学讲义：近轴光线追迹之ABCD矩阵 - 知乎 (zhihu.com)
根据这篇知乎的内容我也自编了matlab代码对自己的光学系统进行验证，然后zemax中好像没有矩阵运算，我就根据社区中另一篇帖子写了一个自定义宏操作数，具体参照下面的帖子。
如何写自定义的优化操作数 - ZEMAX - 吾爱光设 - Powered by Discuz! (optzmx.com)
操作数为ZPLM 10 0表示后焦面，1表示前焦面。


可以看到前焦面和系统报告中的数据几乎接近，后焦面也就是我系统的工作距离15mm，系统报告中的后焦面是根据最后的像面计算的。

sunfly

有色金属 发表于 2023-11-7 17:23
zemax如何将某一个面设置在透镜组前后焦面上？ - ZEMAX - 吾爱光设 - Powered by Discuz! (optzmx.com)
我 ...

您好，我也遇到您这问题了，我是需要设计一个无限远物镜既要对样品面成像又需要对样品面进行科勒照明，我现在设计的无限远物镜的前焦点在物镜的内部。想通过您写的宏，把前焦点拉倒透镜的外面，但是这样整个镜头就炸了（物镜的总长被压缩的很小，感觉就是通过压缩物镜的总长把前焦点拉到物镜外的），请问您是怎么解决这个前焦点问题的，也是直接通过宏把前焦点拉到物镜外面吗，您优化的时候镜头有跑的很奇怪吗。