求助四反、五反离轴系统初始结构

Airlonekey · 发表于 2023-10-18 14:38

求助四反、五反离轴系统初始结构。目前离轴三反搞的比较多，设计也是基于常用初始结构进行不同场景优化设计，想看看四反、五反的应用价值，希望有大神们能够指点下方向

tinyheaven · 发表于 2023-10-20 08:32

每多一个反射镜，反射镜的表面质量/镀膜管控、安装的倾斜/偏心公差难度都是累乘的，大多数工业产品不会有应用。目前我能想到超过三反的就只有光刻机了，欢迎其它大佬补充。

songshaoman · 发表于 2023-10-20 08:42

本帖最后由 songshaoman 于 2023-10-20 08:44 编辑

什么行业？航空航天还是两镜三镜为主，到了四镜也是主三镜一体加工，否则太难装调了。

而且现在自由曲面加工技术突破瓶颈，靠CGH检测，精度逐年升级，可以靠两三镜做到大视场角小F数。报道的、论文查到的多镜应用也就EUV光刻机。
找初始结构，就查四镜光刻机，六镜光刻机，现在实际应用也就到八镜。

啥都学不会 · 发表于 2023-10-20 11:12

三反能解决坚决不用四反，目前四反用的比较多的就是无焦光学系统，实际上也是三反，有一反是平面反射镜。光刻物镜见过有用六反的。

Airlonekey · 发表于 2023-10-20 14:31

tinyheaven 发表于 2023-10-20 08:32
每多一个反射镜，反射镜的表面质量/镀膜管控、安装的倾斜/偏心公差难度都是累乘的，大多数工业产品不会有应 ...

谢谢大佬指点。

Airlonekey · 发表于 2023-10-20 14:32

songshaoman 发表于 2023-10-20 08:42
什么行业？航空航天还是两镜三镜为主，到了四镜也是主三镜一体加工，否则太难装调了。

而且现在自由曲面 ...

谢谢大佬指点！

Airlonekey · 发表于 2023-10-20 14:39

啥都学不会发表于 2023-10-20 11:12
三反能解决坚决不用四反，目前四反用的比较多的就是无焦光学系统，实际上也是三反，有一反是平面反射镜。光 ...

谢谢大佬赐教。学习了~

songshaoman · 发表于 2023-10-20 15:06

Airlonekey 发表于 2023-10-20 14:32
谢谢大佬指点！

就算多一个折返用的平面镜，也会增加其他镜片的面型要求，本来λ/40能够用的，一下就到λ/60了

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