大角度双波段探测成像分光器件的研制

白光

大角度双波段探测成像分光器件的研制

来源：中国激光，发表时间：2023-7-25

付秀华

长春理工大学光电工程学院

摘要：在光夜视与红外成像融合的光学系统中，光通过55°放置的分光分成两束光，其中反射光被微光探测器接收进行微光夜视成像，透射光被红外深测器接收进行红外成像，通过图像融合技术来提高系统的成像分辨率，针对分光的参数要求，笔者选用Ge、ZnS和YbF3作为沉积材料，采用离子源辅助沉积技术在多光谱ZS基底上制备了0.60.9um波段高反、3.~4.8m波段高透的分光通过对系结构的优化以及沉积工艺参数的调整，解决了层固度和面精度等问题，实现了0.6~0.9m波段反射率为90.77%、3.7~4.8um波段透率为91.15%的分光指标。附着力测试、摩擦力测试、高低温测试、恒温恒湿测试结果显示所制备的双面膜可以满足使用要求，但该膜的短波反射率和长波透过率仍有一定的提升空间。

关键词：光学器件；分光镜；微光夜视中波红外成像；面形精度；